9월 18일자 「[미래기술 R&D 현장] 한양대 'EUV노광기술연구센터'」 기사

9월 18일자 <전자신문>은 한양대스마트반도체연구원(ISS)을 구성하는 4개의 연구센터 중 하나이자 국내 EUV 연구 생태계 선구자 역할을 하고 있는 연구기관으로 한양대학교 ‘EUV노광기술연구센터’를 소개했다.

▲ 연구원이 800nm 파장을 갖는 고에너지 레이저 광학계를 정밀 조정하고 있다. ⓒ전자신문
▲ 연구원이 800nm 파장을 갖는 고에너지 레이저 광학계를 정밀 조정하고 있다. ⓒ전자신문

지난 13일 오후 한양대 극자외선노광기술연구센터. 엄격한 연구 환경을 위해 방진복을 입고 에어샤워를 마쳐야 입장할 수 있다. 연구원이 조정하는 장비에서는 초록색 빛이 새어 나왔다. 800nm 파장 고에너지 적외선 레이저로 장비 내 극자외선(EUV)을 생성하기 위해 투입된다.

장비 한켠에서는 다른 연구원이 모니터로 시험 결과를 확인하고 있었다. EUV 회절광을 토대로 블랭크 마스크 패턴을 재구성하기 위해서다. 블랭크 마스크는 반도체 노광공정에서 회로 패턴을 새기는 핵심 부품 포토마스크의 원재료다.

다른 장비에서는 EUV 펠리클의 열적 내구성 평가를 진행했다. 펠리클은 포토마스크를 보호하는 얇은 박막이다. 5나노 이하 첨단공정 수율을 높이기 위해선 펠리클이 꼭 필요하다. 현재 펠리클은 투과율과 내구성을 높이는 것이 관건이다. 극자외선노광기술연구센터에서는 블랭크 마스크, 펠리클 등 반도체 첨단공정 필수 부품 국산화 연구가 한창이다.

안진호 극자외선노광기술연구센터장(한양대학교 신소재공학과 교수)은 이전부터 극자외선노광기술협의체(EUV-IUCC)를 운영하며 국내외 소재·부품·장비 기업을 비롯해 29개 기업과 협력 네트워크를 조성했다. 기업과 대학이 EUV 소재와 부품을 상호 검증하며 제품을 고도화하고 국내에 EUV 산학 생태계를 조성한 결과를 낳았다.

안 원장은 학과 간 장벽을 극복한 반도체 융합 연구를 위해 지난달 말 출범한 총장 직속 연구조직인 한양대스마트반도체연구원(ISS)의 원장을 맡았다. ISS는 극자외선노광기술연구센터·차세대반도체물성및소자연구센터·첨단반도체패키징연구센터·원자수준공정및플라즈마연구센터 등 4개 연구센터를 두고 있다.

ISS는 지속가능한 반도체 산학협력 생태계 조성을 연구 목표로 삼았다. 반도체 업계 수요기술을 ISS가 선행적으로 연구하고 그 성과를 바탕으로 기업과 협력하는 방식이다. ISS는 차세대 반도체 기술을 확보하고 인재를 양성하는 플랫폼 역할을 맡는다.

안 원장은 “차세대 반도체 연구가 산업과 연계되지 않으면 의미가 없다”라며 “ISS는 기업과 협력한 연구개발과 인재양성을 통해 국내 반도체 산업 성장에 힘쓸 것”이라고 밝혔다.

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